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SPETEC蠕动泵MP-12-SM-4-XU适用于半导体刻蚀液添加四通道独立控制HF/HNO₃/H₂O₂流量,混合精度±0.1mL/min,晶圆良率提升2%
联系电话:13370157291
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SPETEC蠕动泵MP-12-SM-4-XU适用于半导体刻蚀液添加
SPETEC于1987年在德国埃尔丁创立,初期专注于分析仪器备件销售。从洁净室基础设备(如层流箱)起步,逐步扩展至蠕动泵、注射泵等流体控制产品,并衍生激光安全防护业务。
主要产品:
SPETEC层流箱
SPETEC蠕动泵
SPETEC注射泵
SPETEC护目镜
SPETEC安全幕
SPETEC泵MP-12-SM-4-XU
精密流体分割:12个滚轮连续交替挤压软管,形成0.0017mL级微枕单元,脉动幅度<1%(较6滚轮泵降低60%),满足HPLC、ICP-MS等分析仪器对流量稳定性的严苛要求。
双向无回流设计:步进电机支持正反转切换(0-5V信号控制),停机时软管弹性闭合阻断回流,自吸高度≥2m(水介质),杜绝交叉污染。
并行精准输送:4组独立泵头通过CAN总线同步控制,每通道流量范围0.001-45mL/min(适配内径1.6-4.8mm软管),通道间流量偏差<±0.5%,支持多试剂同步配比。
软管压缩智能调节:旋钮微调滚轮间隙(0.1-0.5mm),平衡密封性与软管寿命(>2000小时连续运行),维护成本降低50%。
环保保障:流体仅接触软管内壁(可选氟橡胶/铂金硅胶/PTFE),泵体阳极氧化+粉末涂层处理,耐受pH 0-14强酸强碱及DMSO、丙酮等有机溶剂。
IP54防护外壳:防尘防溅水,适配生物安全柜、洁净室等ISO 5级敏感环境。
流量精度 ±0.5%(校准后) ±2%
脉动抑制率 >99%(12滚轮协同) ≤85%
转速范围 1-80 rpm(可扩展至120 rpm) 20-300 rpm
通道独立性 4通道CAN总线同步控制 单通道独立
介质兼容性 全系防腐,通吃强酸/高粘/含颗粒 受限(pH 4-10)
认证支持:通过FDA 21 CFR(食品/制药)、ISO 14644(洁净室)及RoHS指令。
型号示例:
SPETEC泵MP-12-SM-4-XU
SPETEC泵MP-12-SM-4-DU
SPETEC泵Perimax 16
SPETEC泵Perimax 12/4 SM 1-120 UPM
SPETEC泵Perimax 12/4 SM 1-80 UPM
SPETEC泵Perimax 12/4 SM 1-33 UPM
SPETEC泵Perimax 12/4 D-Sub
SPETEC泵Perimax 12/2 SM 1-33 UPM
SPETEC蠕动泵MP-12-SM-4-XU适用于半导体刻蚀液添加