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德国MLase准分子激光器MLI 1000 ARF

德国MLase准分子激光器MLI 1000 ARF波长193纳米
微加工、医学、科学研究和半导体制造等领域中得到了广泛应用

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-05-16
  • 访  问  量:279
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产品详情
品牌Mlase

德国MLase准分子激光器MLI 1000 ARF波长193纳米

MLase是紫外光医疗和工业产品供应商。自2007成立以来,MLase一直致力于开发和生产创新型高质量激光和光系统,这是高度专业化的专家团队多年经验的结晶。MLase AG 为客户提供优质的产品,同时考虑到新的技术。MLase AG的质量管理符合ISO 13485:2016标准。

 

ARF KRF 是两种常见的准分子激光器类型,分别代表氩氟化物激光器(ArF 激光器)和氪氟化物激光器(KrF 激光器)。它们都属于气体激光器的一种,使用稀有气体和氟化物混合物作为激光介质,并且都通常在紫外光区域产生激光。

 

ARF 激光器(氩氟化物激光器):

   - 波长:约193纳米

   - 工作介质:氩氟化物混合气体

   - 应用:主要应用于半导体光刻技术,用于制造集成电路芯片。

 

KRF 激光器(氪氟化物激光器):

   - 波长:约248纳米

   - 工作介质:氪氟化物混合气体

   - 应用:广泛用于激光微加工、医疗、科学研究等领域,也用于半导体光刻。

 

这两种类型的激光器在波长和应用领域上略有不同,但它们都具有高能量密度、精确的波长控制和窄脉冲宽度等特点。这使它们在诸如微加工、医学、科学研究和半导体制造等领域中得到了广泛应用。

 

Mlase MLI 1000 ARF准分子激光器

参数:ArF

波长(纳米):193

最大。重复率 (Hz)1000

稳定的脉冲能量(mJ)6

稳定的脉冲功率(W)6,0

能量稳定性 (sigma, %)2

光束尺寸 (FWHM, V x H mm)6x3

光束发散(FWHMV x H mrad):2x1

脉冲持续时间(FWHM)(ns):5-10

 

型号示例:

Mlase准分子激光器MLI 500 ARF

Mlase准分子激光器MLI 500 KRF

Mlase准分子激光器MLI 200 KRF

Mlase准分子激光器MLI 1000 KRF

Mlase准分子激光器MLI 200 ARF

Mlase准分子激光器MLI 1000 ARF

德国MLase准分子激光器MLI 1000 ARF波长193纳米


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